Mikrotechnik
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Die Mikrotechnik (auch Mikrostrukturtechnik) befasst sich mit Verfahren, die zur Herstellung von Körpern und geometrischen Strukturen mit Dimensionen im Mikrometerbereich (0,1 µm - 1000 µm) angewandt werden. Bei Strukturgrößen unter 100 Nanometer redet man von Nanotechnik. Größtes Anwendungsfeld der Mikrotechnik ist die Erstellung integrierter Schaltkreise (IC), durch die moderne Computertechnologie erst möglich gemacht wurde.
Steht neben der Realisierung von elektronischen Speicher- und Logikfunktionen die Integration von mechanischen, optischen oder (bio-)chemischen Komponenten im Vordergrund, spricht man statt von Mikrotechnik von der Mikrosystemtechnik.
Die Abmessungen des ersten Transistors von 1958, dessen Außendurchmesser noch 759 µm betrug, haben sich auf deutlich unter 1 µm reduziert (Stand: 2004). (siehe auch Mooresches Gesetz)
Ein großer Anwendungsbereich für die Mikrotechnik ist die Mikroelektronik, bei der der Hauptwerkstoff Silizium ist. Die Kombination nichtelektronische Anwendungsgebiete wie Mikromechanik, Strömungstechnik und Optik mit der Mikroelektronik - Mikrosystemtechnik genannt - wird seit den 1990er Jahren immer bedeutender.
Die Fertigung mikrotechnischer Strukturen geschieht in Reinräumen. Reinräume sind besonders saubere, klimatisierte Fertigungsumgebungen. Meist wird zur Definition von Strukturen der Mikrotechnik die Fotolithografie verwandt. Dabei werden Lichtstrahlen durch eine Maske auf eine beschichtete Oberfläche projiziert und verändern dabei den Photolack an den belichteten Stellen. Die nicht belichteten Stellen des Lacks werden beim so genannten Entwickeln entfernt. Die jetzt definierten Gebiete können z.B. durch Ätzen strukturiert werden, oder z.B. durch Dotieren veränderte Leitfähigkeiten erhalten. Im Detail dazu siehe: Halbleitertechnologie.
